| 參數(shù) | 4吋規(guī)格 | 6吋規(guī)格 | 8吋規(guī)格 |
| 波長(zhǎng) | 365nm | 365nm | 365/405nm |
| 有效面積 | Ф110mm | 160x160mm2 | 205x205mm2 |
| 照度 | 5-55mw/cm2&365nm | 5-40mw/cm2&365nm | 5-50mw/cm2&365nm |
| 不均勻性 | ≤3% | ≤3% | ≤4% |
| 工作距離 | 100mm（兼容50-150mm） | 320mm(兼容200-400mm) | 250mm(兼容200-400mm) |
| 外形尺寸 | 718x290x452mm（長(zhǎng)x寬x高） | 467x280x460mm(長(zhǎng)x寬x高) | 530x388x562mm(長(zhǎng)x寬x高) |
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | IGBT、MOSFET、二極管、整流橋功率器件等曝光 | IGBT、MOSFET、二極管、整流橋功率器件等曝光 | 玻璃金屬網(wǎng)格線路、GPP功率器件等 |
